金融界 2024 年 11 月 27 日音訊，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息數(shù)據(jù)顯現(xiàn)，內(nèi)蒙古大全半導(dǎo)體有限公司獲得一項(xiàng)名為“一種用于半導(dǎo)體級(jí)多晶硅的置換設(shè)備”的專利，授權(quán)公告號(hào) CN 222048607 U，請(qǐng)求日期為 2024 年 3 月。
專利摘要顯現(xiàn)，本實(shí)用新型觸及多晶硅出產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種用于半導(dǎo)體級(jí)多晶硅的置換設(shè)備，包含固定組件，固定組件包含：復(fù)原爐尾氣管道外側(cè)設(shè)置有壓力變送器；電動(dòng)閥門設(shè)置于復(fù)原爐尾氣管道的一端；榜首銜接收設(shè)置于電動(dòng)閥門的一側(cè)；吸氣閥設(shè)置于榜首銜接收的頂部；榜首銜接收的外側(cè)設(shè)置有真空置換組件，真空置換組件包含：L 型分流管設(shè)置于榜首銜接收的外側(cè)；羅茨泵設(shè)置于 L 型分流管的一端；榜首分流管設(shè)置于羅茨泵的一側(cè)；緩沖罐設(shè)置于榜首分流管的一端，并與榜首銜接收的一端固定銜接；前級(jí)水環(huán)式真空泵設(shè)置于緩沖罐的一側(cè)，經(jīng)過設(shè)置真空置換組件進(jìn)步了復(fù)原爐內(nèi)的的真空度滿意滿意半導(dǎo)體級(jí)多晶硅關(guān)于物料的潔凈度要求，進(jìn)步了工作效率。
