本次投資項目主要圍繞公司主要營業(yè)業(yè)務(wù)進行，是公司響應(yīng)行業(yè)發(fā)展的新趨勢，滿足下游市場發(fā)展需求的重要舉措，亦是對公司半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件業(yè)務(wù)的進一步拓展和擴大。本次投資項目基本的產(chǎn)品示意圖如下：
本項目基于公司在半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件領(lǐng)域儲備的相關(guān)核心技術(shù)和積累的生產(chǎn)經(jīng)驗為實施基礎(chǔ)，通過購置工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備、溫控設(shè)備生產(chǎn)所需的機械加工設(shè)施、組裝測試設(shè)備等硬件設(shè)備，并引入 MOM 生產(chǎn)管理系統(tǒng)以提升生產(chǎn)制造和供應(yīng)鏈管理的效率，搭建高度自動化的生產(chǎn)產(chǎn)線，配置相應(yīng)的管理及生產(chǎn)人員，擴大公司半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的生產(chǎn)能力。
為提高項目投資效益，本項目中工藝廢氣處理設(shè)備生產(chǎn)產(chǎn)線的資產(chǎn)金額的投入是在公司現(xiàn)在存在生產(chǎn)產(chǎn)線基礎(chǔ)上的高度自動化升級改造，進一步提升產(chǎn)品生產(chǎn)工藝精度、生產(chǎn)工藝智能化及豐富產(chǎn)品型號。
此外，隨著公司服務(wù)客戶數(shù)量持續(xù)積累，半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件以及其相應(yīng)耗材部件的需求逐漸增多，通過本項目公司將引進更多的運維人才，提升運維服務(wù)規(guī)模，增強運維服務(wù)的質(zhì)量。公司將以半導(dǎo)體附屬設(shè)備為發(fā)力點，加大在半導(dǎo)體領(lǐng)域的市場布局，提升公司的核心競爭力，實現(xiàn)長期可持續(xù)發(fā)展。
半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件作為公司的核心戰(zhàn)略業(yè)務(wù)之一，公司圍繞該領(lǐng)域逐步完成了工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備和溫控設(shè)備的國產(chǎn)化研制。上述設(shè)備共同作用于對半導(dǎo)體制程設(shè)備反應(yīng)腔的輔助控制，可使反應(yīng)腔滿足刻蝕、離子注入、擴散及薄膜沉積等工藝所需的環(huán)境條件，是半導(dǎo)體制程中不可或缺的重要組成部分。具體來說，真空設(shè)備可使反應(yīng)腔體內(nèi)部形成發(fā)生反應(yīng)所必須的真空環(huán)境，并抽離工藝廢氣，傳輸至工藝廢氣處理設(shè)備中進行無害化處理；溫控設(shè)備可對反應(yīng)腔進行高精密的溫度控制，以實現(xiàn)半導(dǎo)體工藝制程的控溫需求。
集成電路、半導(dǎo)體顯示以及新能源光伏在部分生產(chǎn)工藝上具有相似性，生產(chǎn)過程中都需要控制反應(yīng)腔的溫度、保持反應(yīng)腔的真空環(huán)境以及處理反應(yīng)形成的工藝廢氣，因此工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備和溫控設(shè)備在上述三大領(lǐng)域均有廣泛應(yīng)用。
近年來，公司的工藝廢氣處理設(shè)備（主要為 L/S 設(shè)備）得到了半導(dǎo)體行業(yè)頭部廠商的高度認可，為公司在半導(dǎo)體附屬設(shè)備市場創(chuàng)造了良好的發(fā)展空間。公司以工藝廢氣處理設(shè)備切入半導(dǎo)體附屬設(shè)備市場，持續(xù)關(guān)注和跟蹤下游客戶的設(shè)備需求，隨著真空設(shè)備和溫控設(shè)備成功研制并完成多款機型的研發(fā)驗證測試，半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件業(yè)務(wù)版圖進一步完整。
為秉持“行業(yè)延伸+產(chǎn)品延伸”的發(fā)展戰(zhàn)略，進一步深化在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的延伸布局，公司在上海市嘉定區(qū)投資建設(shè)“國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件項目”，以提升國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的生產(chǎn)能力、運維能力和產(chǎn)業(yè)競爭力。
本項目為“國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件項目”的一期子項目。項目以公司業(yè)務(wù)發(fā)展戰(zhàn)略為指導(dǎo)基礎(chǔ)，通過購置土地、投資建設(shè)新廠房、引進先進的生產(chǎn)設(shè)備及生產(chǎn)系統(tǒng)，建造高度自動化的生產(chǎn)線，打造先進國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備平臺，建設(shè)國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件生產(chǎn)基地，以進一步擴大設(shè)備及關(guān)鍵零部件產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，并同步提升運維服務(wù)能力。
本項目計劃生產(chǎn)產(chǎn)品主要包括工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備以及溫控設(shè)備，項目建設(shè)有助于工藝廢氣處理設(shè)備生產(chǎn)產(chǎn)線高度自動化升級，進一步提升產(chǎn)品生產(chǎn)的基本工藝精度、生產(chǎn)的基本工藝智能化及豐富產(chǎn)品型號，提升公司工藝廢氣處理設(shè)備的行業(yè)市場份額；有助于加速真空設(shè)備和溫控設(shè)備等新產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化，壯大國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件運維服務(wù)業(yè)務(wù)板塊，更好地滿足集成電路、半導(dǎo)體顯示及新能源等下游領(lǐng)域日益增長的市場需求。
本項目總投資為 46,203.51 萬元，主要包括工程建設(shè)投資、基本預(yù)備費及鋪底流動資金。
本項目的建設(shè)周期為兩年，內(nèi)部收益率（稅后）為 12.16%，投資回收期（不含建設(shè)期）為 7.02 年。
本項目選址為上海市嘉定區(qū)徐行鎮(zhèn)竹橋村 1169 丘，公司上述選址的土地已取得上海市自然資源確權(quán)登記局頒發(fā)的滬（2024）嘉字不動產(chǎn)權(quán)第 001725 號《不動產(chǎn)權(quán)證書》，證書證載使用權(quán)面積為 27,728.60 平方米，土地用途為工業(yè)用地。
本項目已經(jīng)完成上海市嘉定區(qū)發(fā)展和改革委員會項目投資備案，項目代碼為 310114MA7EWWBR520231D3101001（上海代碼）。
根據(jù)《國民經(jīng)濟行業(yè)分類》（GB/T 4754-2017），盛劍半導(dǎo)體屬于“專用設(shè)備制造業(yè)”（行業(yè)代碼：C35）中的“電子和電工機械專業(yè)設(shè)備制造”（行業(yè)代碼：C356）中的“半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造”（行業(yè)代碼：C3562）。
根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響評價分類管理名錄（2021 年版）》，并對照《〈建設(shè)項目環(huán)境影響評價分類管理名錄〉上海市實施細化規(guī)定（2021 年版）》（滬環(huán)規(guī)[2021]11 號）（以下簡稱“細化規(guī)定”），本項目屬于第三十二項“專用設(shè)備制造業(yè)”，項目建設(shè)需編制環(huán)境影響報告表。截至本報告發(fā)布日，本項目已經(jīng)完成環(huán)境影響報告表的編制，并已取得上海市嘉定區(qū)生態(tài)環(huán)境局文號為滬 114 環(huán)保許管[2023]174 號的批復(fù)意見，批復(fù)意見明確從環(huán)保角度原則同意該項目實施。
（1）本項目是公司把握半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化市場機遇，進一步擴大設(shè)備業(yè)務(wù)的規(guī)模、深化業(yè)務(wù)延伸戰(zhàn)略的重要舉措
公司專注于為高科技產(chǎn)業(yè)提供綠色科技服務(wù)，以“致力于美好環(huán)境”為企業(yè)使命，持續(xù)秉持“行業(yè)延伸+產(chǎn)品延伸”的發(fā)展方針，錨定“為科技企業(yè)提供綠色服務(wù)，為綠色企業(yè)提供科技產(chǎn)品”的戰(zhàn)略定位，已形成“綠色廠務(wù)系統(tǒng)解決方案、半導(dǎo)體附屬裝備及核心零部件、電子化學(xué)品材料”主營業(yè)務(wù)三駕馬車。
近年來，隨著人工智能、5G 和物聯(lián)網(wǎng)等新興行業(yè)的迅速發(fā)展以及智能化、節(jié)能減排等要求向各行各業(yè)的持續(xù)滲透，半導(dǎo)體終端產(chǎn)品的應(yīng)用需求持續(xù)增加，疊加全球集成電路、半導(dǎo)體顯示及新能源等產(chǎn)能逐漸向中國大陸轉(zhuǎn)移，產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化進程持續(xù)向縱深推進，給我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈帶來良好的發(fā)展契機，將有力推動國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的市場需求。
面對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在國產(chǎn)替代進程中實現(xiàn)快速增長的大趨勢及建立健全綠色環(huán)保、低碳循環(huán)發(fā)展經(jīng)濟體系的時代機遇，公司需要順應(yīng)行業(yè)發(fā)展趨勢，進一步深化業(yè)務(wù)延伸戰(zhàn)略，加強對國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的產(chǎn)業(yè)布局，以提升設(shè)備業(yè)務(wù)的規(guī)模實力，實現(xiàn)公司經(jīng)濟效益和綜合競爭力的提升。
（2）公司實施本項目對于推進我國半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備和關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化進程具有重要意義
本項目產(chǎn)品包括工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備和溫控設(shè)備等，均為半導(dǎo)體生產(chǎn)制造產(chǎn)線不可或缺的附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件，上述設(shè)備對客戶的產(chǎn)能利用率和產(chǎn)品良率有重要影響。由于我國半導(dǎo)體附屬設(shè)備行業(yè)發(fā)展起步較晚，上述設(shè)備技術(shù)難度大且客戶對產(chǎn)品可靠性要求高，因此行業(yè)進入壁壘較高，目前仍由外企占據(jù)市場主導(dǎo)地位，國產(chǎn)化率處于較低水平。
在全球貿(mào)易對抗和科技限制等不確定性因素加劇的宏觀環(huán)境下，我國半導(dǎo)體專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈安全自主可控的戰(zhàn)略意義愈發(fā)凸顯，半導(dǎo)體客戶對國產(chǎn)供應(yīng)鏈的建設(shè)需求較為強烈。伴隨半導(dǎo)體主設(shè)備國產(chǎn)化突破持續(xù)推進，產(chǎn)業(yè)發(fā)展對附屬設(shè)備和關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化也在持續(xù)加速推進，以公司為代表的本土廠商通過持續(xù)的研發(fā)投入，已逐步完成工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備和溫控設(shè)備等主要設(shè)備及關(guān)鍵零部件產(chǎn)品的國產(chǎn)化研制，有效加速了產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化的演進。
本項目建成后，公司有望憑借規(guī)模化生產(chǎn)和本土服務(wù)優(yōu)勢，打造出高性價比的本土產(chǎn)品，推動本土工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備和溫控設(shè)備自主供給率的提升，對于促進下業(yè)供應(yīng)鏈的穩(wěn)定和推動行業(yè)的健康發(fā)展具有重要意義。因此，本項目有助于公司充分利用現(xiàn)有客戶資源和技術(shù)優(yōu)勢，把握真空設(shè)備和溫控設(shè)備等高附加值設(shè)備國產(chǎn)化替代的歷史機遇，豐富公司設(shè)備品類，打破外資廠商主導(dǎo)市場的局面。
工藝廢氣處理設(shè)備作為公司在半導(dǎo)體附屬設(shè)備領(lǐng)域率先布局的核心產(chǎn)品之一，主要滿足客戶對生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)生的工藝廢氣進行預(yù)處理的需求，有助于提高客戶制程的產(chǎn)品良率。
作為國內(nèi)較早布局半導(dǎo)體工藝廢氣處理設(shè)備的企業(yè)之一，公司在半導(dǎo)體工藝廢氣治理領(lǐng)域取得了較強的技術(shù)優(yōu)勢。公司的等離子工藝廢氣處理設(shè)備實現(xiàn)技術(shù)迭代，其安全性、穩(wěn)定性、耐用性均大幅提升，實現(xiàn)了在集成電路 12 寸產(chǎn)線的客戶驗證和批量交付。在國際高難度制程的常壓 EPI 領(lǐng)域，公司完成國內(nèi)首臺套“水洗+燃燒+水洗”設(shè)備廠內(nèi)性能驗證和 SEMI 認證。
此外，公司成功研制并量產(chǎn)了等離子工藝廢氣處理設(shè)備的核心部件——火炬頭，并獲得外資廠商機型的維保訂單。同時，公司已完成“燃燒+水洗”雙腔機型的 L/S 設(shè)備的研發(fā)及內(nèi)部測試，可覆蓋半導(dǎo)體多個工藝段的應(yīng)用場景。
公司在工藝廢氣處理設(shè)備領(lǐng)域積累了深厚的技術(shù)儲備和良好的客戶口碑，產(chǎn)品深受客戶認可，為了更好地滿足下游客戶日益增長的市場需求，需持續(xù)擴大工藝廢氣處理設(shè)備的產(chǎn)能，提升產(chǎn)品精度和智能化水平，豐富不同型號設(shè)備生產(chǎn)能力。本項目建成后有利于進一步提升公司工藝廢氣處理設(shè)備產(chǎn)品的生產(chǎn)效率和生產(chǎn)能力，鞏固公司在該領(lǐng)域的競爭優(yōu)勢和提升市場占有率。
（4）公司順利完成了真空設(shè)備及溫控設(shè)備等新產(chǎn)品的研制，本項目將推動公司前期研發(fā)成果的產(chǎn)業(yè)化落地
為實現(xiàn)客戶綠色生產(chǎn)，持續(xù)為客戶創(chuàng)造價值，公司積極跟進客戶最新工藝制程的要求并積極研發(fā)新產(chǎn)品，逐步實現(xiàn)了工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備及溫控設(shè)備等半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備和關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化研制。
公司積極加快市場拓展和研發(fā)驗證工作，現(xiàn)已具備多款核心設(shè)備的自產(chǎn)或定制化設(shè)計能力，真空設(shè)備完成了兩款機型的研發(fā)驗證測試，客戶驗證工作仍在推進；溫控設(shè)備完成了首款三通道產(chǎn)品的研發(fā)，驗證測試工作已順利開展；公司目前已獲得集成電路領(lǐng)域半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的運維服務(wù)訂單，后續(xù)上述設(shè)備及運維服務(wù)均有望迎來更大規(guī)模的訂單，公司亟需打造規(guī)模化生產(chǎn)能力，以保障新產(chǎn)品的產(chǎn)能供應(yīng)。
（5）公司需要更加多元化的產(chǎn)品布局，并加速拓展運維服務(wù)業(yè)務(wù)，增強在半導(dǎo)體附屬設(shè)備領(lǐng)域的整體解決方案能力，實現(xiàn)綜合競爭力的提升
刻蝕、離子注入、擴散及薄膜沉積均屬于半導(dǎo)體制程的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備和溫控設(shè)備在上述制程同發(fā)揮作用。下游客戶對于產(chǎn)線的設(shè)計和建設(shè)會考慮不同設(shè)備之間的一致性和協(xié)調(diào)性。因此，公司逐漸形成了三種設(shè)備的整體供應(yīng)能力，可滿足客戶的平臺化配套需求，可為客戶提供基于半導(dǎo)體制程環(huán)節(jié)更加深度的定制化配套方案，設(shè)備之間的協(xié)調(diào)性也更有優(yōu)勢。半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件經(jīng)過近幾年的快速發(fā)展，設(shè)備保有量已有顯著提升，隨著質(zhì)保期限的陸續(xù)到期，未來將出現(xiàn)更大規(guī)模的運維需求。
通過本項目，公司將打造一支專業(yè)化的運維團隊，構(gòu)建為客戶提供深度運維服務(wù)的業(yè)務(wù)能力，解決客戶的設(shè)備運維需求。隨著本項目的逐漸落地，公司將形成多款半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的研發(fā)設(shè)計、加工制造、系統(tǒng)集成及調(diào)試維護等方面的成熟能力，可為客戶定制化提供安全穩(wěn)定的附屬設(shè)備系統(tǒng)解決方案。本項目有助于拓展新的利潤增長點，增強公司的綜合實力和持續(xù)盈利能力。因此，本項目的實施具有必要性。
本項目產(chǎn)品主要為半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件，根據(jù)國家統(tǒng)計局頒布的《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類（2018）》，所處行業(yè)隸屬于新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)下的半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造領(lǐng)域，屬于國家高度重視和重點支持的戰(zhàn)略新興行業(yè)。
根據(jù)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024 年本）》公司所處產(chǎn)業(yè)為集成電路設(shè)備及關(guān)鍵零部件制造，屬于鼓勵類產(chǎn)業(yè)。近年來，國家相關(guān)部委出臺了一系列鼓勵和支持半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的政策，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展?fàn)I造了良好的政策環(huán)境。2022 年 12 月，國務(wù)院發(fā)布《擴大內(nèi)需戰(zhàn)略規(guī)劃綱要（2022－2035 年）》提出全面提升信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)核心競爭力，推動人工智能、先進通信、集成電路、新型顯示、先進計算等技術(shù)創(chuàng)新和應(yīng)用；2022 年 1 月，國務(wù)院發(fā)布《“十四五”數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展規(guī)劃》指出著力提升基礎(chǔ)軟硬件、核心電子元器件、關(guān)鍵基礎(chǔ)材料和生產(chǎn)裝備的供給水平，強化關(guān)鍵產(chǎn)品自給保障能力。
實施產(chǎn)業(yè)鏈強鏈補鏈行動，提升產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)競爭力，完善5G、集成電路、新能源汽車、人工智能、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等重點產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈體系；2021 年 3 月，全國人大審議通過《中華人民共和國國民經(jīng)濟和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和 2035 年遠景目標綱要》，提出集中優(yōu)勢資源攻關(guān)核心技術(shù)，其中集成電路領(lǐng)域包括集成電路設(shè)計工具、重點裝備和高純靶材，集成電路先進工藝等。
綜上，國家出臺了一系列政策，涉及到優(yōu)化投融資環(huán)境、優(yōu)化稅收政策、加強技術(shù)創(chuàng)新和人才培養(yǎng)等方面，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展迎來重大機遇。本項目的實施高度契合國家的產(chǎn)業(yè)政策，具備廣闊的發(fā)展?jié)摿褪袌銮熬啊?
本項目產(chǎn)品是半導(dǎo)體制程工藝的配套附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件，廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體顯示和新能源等領(lǐng)域。隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、機器人以及汽車電子等新技術(shù)和新產(chǎn)品的出現(xiàn)和應(yīng)用，帶動了對集成電路和半導(dǎo)體顯示的龐大市場需求。
晶圓和半導(dǎo)體顯示等領(lǐng)域的制造廠商擴產(chǎn)活躍，投資建設(shè)熱情高漲，行業(yè)處于長周期的上行階段，對設(shè)備的采購需求持續(xù)旺盛。半導(dǎo)體行業(yè)下游需求持續(xù)旺盛，有利于推動上游設(shè)備和零部件產(chǎn)業(yè)鏈的迅速發(fā)展。根據(jù)華安證券測算，2023 年-2025 年大陸集成電路及半導(dǎo)體顯示廢氣治理市場空間預(yù)計分別為 28.2 億元、36.9 億元及 42.6 億元；
根據(jù)東吳證券研究所預(yù)測，2023 年-2025 年中國（含中國臺灣地區(qū)）半導(dǎo)體線 億元；根據(jù) QY Research 數(shù)據(jù)，2022 年中國半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備市場空間 1.64 億美元。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，中國大陸晶圓廠建廠速度全球第一，預(yù)計至 2024 年底，將新增 31 座大型晶圓廠。整體來看晶圓廠資本開支高企，建設(shè)步伐積極，仍有大量的建設(shè)規(guī)劃將陸續(xù)落地，為專用的半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件帶來源源不斷的市場需求。
半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)是國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。隨著半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，在被顯示企業(yè)視為“下一代顯示屏技術(shù)”的MiniLED 和 MicroLED 領(lǐng)域，中國企業(yè)的創(chuàng)新與落地也在不斷推進。根據(jù) CINNOResearch 統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2023 年中國（含中國臺灣）半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)內(nèi)投資資金主要流向顯示面板、顯示材料及 Mini LED 和 Micro LED 領(lǐng)域，其中面板投資金額約 1,586 億人民幣，占比約為 51.7%，投資金額同比增長 6.6%，MLED 投資金額約為 563 億人民幣，占比約 18.3%，投資金額同比增長 0.2%。在碳中和的推動下，國內(nèi)外光伏裝機量大幅提升，下游需求旺盛拉動光伏廠商的資本開支。
根據(jù) CPIA 中國光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線年，我國國內(nèi)光伏新增裝機 216.88GW，同比增加 148.1%，其預(yù)測樂觀情況下2028 年中國光伏年度新增裝機規(guī)模有望超過 300GW。
根據(jù)東吳證券預(yù)測數(shù)據(jù)，國內(nèi)光伏拉晶線 億元；而國內(nèi)光伏電池片線 億元。光伏裝機量的進一步提升將繼續(xù)拉動對真空泵的市場需求。綜上，集成電路、半導(dǎo)體顯示和新能源等高景氣領(lǐng)域，企業(yè)資本開支動作活躍，推動半導(dǎo)體附屬設(shè)備行業(yè)保持增長態(tài)勢，為本項目的實施提供了良好的市場環(huán)境。
（3）公司擁有優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體客戶資源和良好的服務(wù)口碑，可為本項目產(chǎn)品的市場消化提供客戶基礎(chǔ)
公司深耕半導(dǎo)體工藝廢氣治理領(lǐng)域多年，持續(xù)服務(wù)于中芯國際、華虹半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、格科微、深南電路、ICRD、士蘭微電子、卓勝微、斯達微電子、長電科技、京東方、華星光電、惠科光電、天馬微電子、維信諾、和輝光電、彩虹股份、中電系統(tǒng)、比亞迪等業(yè)內(nèi)領(lǐng)軍企業(yè)，積累了豐富的客戶資源，贏得了廣泛的市場認可和良好的客戶口碑。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)線普遍投入巨大，產(chǎn)線的安全穩(wěn)定運行至關(guān)重要。
半導(dǎo)體附屬設(shè)備的穩(wěn)定性直接關(guān)系到客戶的產(chǎn)能利用率、產(chǎn)品良率、員工職業(yè)健康及生態(tài)環(huán)境。因此，下游企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性十分重視，對供應(yīng)商的認證要求高，一旦通過認證會形成一定的客戶壁壘，雙方易于保持較高的合作粘性。在半導(dǎo)體附屬設(shè)備領(lǐng)域 ，經(jīng)過多年發(fā)展，憑借穩(wěn)定的產(chǎn)品質(zhì)量和良好的服務(wù)口碑，公司現(xiàn)已成功躋身成為國內(nèi)半導(dǎo)體附屬設(shè)備領(lǐng)域的主要廠商之一，獲得頭部半導(dǎo)體客戶的認可。
公司在集成電路、半導(dǎo)體顯示等行業(yè)積累的豐富客戶資源和良好服務(wù)口碑，有助于提升真空設(shè)備和溫控設(shè)備等新產(chǎn)品的市場認可度，亦為產(chǎn)業(yè)化放量提供良好的客戶基礎(chǔ)，為本項目新增產(chǎn)能的消化提供可靠保障。
公司管理和研發(fā)團隊長期專注于半導(dǎo)體工藝廢氣治理，持續(xù)進行產(chǎn)品線的研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新，在工藝廢氣治理系統(tǒng)、半導(dǎo)體附屬設(shè)備及電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生等方面均已形成深厚的技術(shù)積淀。
截至 2024 年 9 月 30 日，公司及其子公司已經(jīng)取得專利證書的專利權(quán)共372 項，包括 16 項發(fā)明專利和 347 項實用新型專利以及 9 項外觀設(shè)計專利；軟件著作權(quán) 40 項。在半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件領(lǐng)域，公司持續(xù)加大研發(fā)投入，逐步完成工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備及溫控設(shè)備等半導(dǎo)體附屬設(shè)備和關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化研制，積累了豐富的技術(shù)儲備，具備了規(guī)模化的生產(chǎn)能力。
工藝廢氣處理設(shè)備和真空設(shè)備、溫控設(shè)備雖然核心裝置的構(gòu)成和設(shè)計不同，但在生產(chǎn)的基本工藝上具有相通性，均以高精密機加工、機械裝配和測試等工藝為基礎(chǔ)。公司在現(xiàn)有工藝廢氣處理設(shè)備生產(chǎn)線建設(shè)及生產(chǎn)的全部過程中不斷總結(jié)技術(shù)、生產(chǎn)、質(zhì)量管控等方面的優(yōu)秀經(jīng)驗，形成了標準化、流程化以及制度化的運作體系，為本項目中新產(chǎn)品的順利產(chǎn)業(yè)化提供了可靠的技術(shù)和生產(chǎn)基礎(chǔ)。綜上，公司在研發(fā)、技術(shù)、生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)管理方面經(jīng)驗豐富，為本項目的順利實施奠定了基礎(chǔ)。
本項目建設(shè)期為 2 年，第一年開始廠房建造與裝修，第二年上半年進行軟硬件設(shè)備購置與安裝調(diào)試，以及人員招聘、培訓(xùn)，開始產(chǎn)線的試生產(chǎn)，第二年下半年產(chǎn)線正式投入生產(chǎn)，隨后的第三年至第四年項目產(chǎn)能逐步爬坡，直至釋放至100%
假設(shè)宏觀經(jīng)濟環(huán)境、行業(yè)市場情況及公司經(jīng)營情況沒有發(fā)生重大不利變化。本項目計算期為 10 年，其中前兩年為建設(shè)期。
本項目為半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件制造，其中形成收入的最重要的包含半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件及其運維服務(wù)，并基于謹慎性考慮，不考慮物價上漲因素對收入的影響，進行本項目的收入測算
本項目通過半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件制造及相關(guān)設(shè)備的維保產(chǎn)生相應(yīng)的收入及成本費用，公司營業(yè)成本測算主要參照公司歷史主營業(yè)務(wù)毛利率情況，綜合考慮市場及客戶需求變動的影響，并基于謹慎性考慮選取合適的材料費、生產(chǎn)人工費、運維人工費、其他費用及折舊攤銷估算。
項目的期間費用主要包括管理費用、銷售費用和研發(fā)費用，相關(guān)費用結(jié)合本項目所涉及的職工薪酬、折舊攤銷費用等實際情況，并參照公司歷史期間費用占營業(yè)收入比例進行估算。本次項目未考慮銀行融資及其他方式融資，故未將財務(wù)費用納入效益測算過程。
本項目建筑工程相關(guān)增值稅按營業(yè)收入的 9%計算，其他類型項目增值稅按營業(yè)收入的 13%計算，服務(wù)增值稅為 6%。城市維護建設(shè)稅為增值稅的 7%，教育費附加為增值稅的 3%，地方教育費附加為增值稅的 2%，企業(yè)所得稅按照 15%計算，契稅為 3%，印花稅為 0.05%。
全球晶圓廠資本開支強勁，根據(jù) SEMI 預(yù)測，全球半導(dǎo)體制造產(chǎn)能預(yù)計將在2024 年增長 6%，并在 2025 年實現(xiàn) 7%的增長，達到每月晶圓產(chǎn)能 3,370 萬片/月（約當(dāng) 8 英寸）。國內(nèi)各大晶圓廠仍處于擴產(chǎn)周期，在 2025 年前仍在進行產(chǎn)線 年大陸晶圓產(chǎn)能將達到 1,010 萬片/月（約當(dāng) 8 英寸），約合全球產(chǎn)能的三分之一。
中國區(qū)域市場晶圓廠資本開支規(guī)模較大，充分拉動了半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的市場需求，逐漸成為全球最大的需求中心。根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）數(shù)據(jù)，2023 年芯片設(shè)備支出排名前三的中國大陸、韓國和中國臺灣地區(qū)占全球設(shè)備市場的 72%，中國是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場。2023 年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備市場銷售額為 1,063 億美元。2012-2022 年全球及中國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模年復(fù)合增長率分別達 11%、27%，中國大陸市場增速顯著快于全球。
（2）半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件由外資占據(jù)主導(dǎo)地位的局面逐漸被打破，本土廠商市場占有率將持續(xù)提升
以半導(dǎo)體專用的工藝廢氣處理設(shè)備、真空設(shè)備和溫控設(shè)備為代表的半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件由于技術(shù)壁壘高、客戶認證嚴苛，其市場格局均長期由外資占據(jù)主導(dǎo)地位，本土廠商的整體競爭力尚不足。近幾年，隨著晶圓廠對供應(yīng)鏈安全的考慮日益突出，給予了本土設(shè)備廠商良好的合作與認證機遇，以公司、京儀裝備、中科儀為代表的設(shè)備廠抓住機遇，實現(xiàn)了產(chǎn)品和客戶的突破，成功進軍半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件市場。隨著產(chǎn)品和技術(shù)的逐漸成熟，憑借更突出的性價比優(yōu)勢和更迅捷高效的本土化服務(wù)優(yōu)勢，本土廠商的市占率持續(xù)提升。
同時，目前國產(chǎn)半導(dǎo)體真空泵市占率較低，部分境內(nèi)公司已有一定小批量出貨，國產(chǎn)替代的局面逐漸打開。此外，在半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備領(lǐng)域，公司和京儀裝備也成功實現(xiàn)技術(shù)突破，打破了國外廠商壟斷。綜上，本土半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件廠商面臨黃金的國產(chǎn)替代機遇，有望憑借產(chǎn)品性價比優(yōu)勢和本土服務(wù)優(yōu)勢搶占更多外資廠商的市場份額，推動半導(dǎo)體附屬設(shè)備國產(chǎn)化率持續(xù)提升。
下業(yè)客戶在實際生產(chǎn)過程中會面臨多種工況的不同需求，這使得其對于供應(yīng)商系統(tǒng)解決方案的設(shè)計能力格外重視。因此，供應(yīng)商需要具備豐富的經(jīng)驗和技術(shù)實力，能夠根據(jù)客戶的需求提供定制化的解決方案，并確保其設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性。另一方面，客戶基于供應(yīng)鏈體系化建設(shè)、自身工藝流程與不同半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的整體適配性等因素，更加傾向于平臺化采購合格供應(yīng)商的成套溫控設(shè)備。
供應(yīng)商需要能夠提供從設(shè)計、制造到安裝和維護的全過程服務(wù)，以確保設(shè)備的正常運行和生產(chǎn)效率的提高。此外，還需要提供全面的售前咨詢、售中技術(shù)支持和售后維護服務(wù)，以便及時解決問題和降低風(fēng)險。
半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件生產(chǎn)企業(yè)需要加強與客戶的溝通和合作，深入了解客戶需求，提供符合客戶期望的定制化解決方案，以實現(xiàn)整體設(shè)備方案的最優(yōu)效果，提高設(shè)備的適應(yīng)性和可靠性。同時，還需要注重市場研究和技術(shù)創(chuàng)新，緊跟行業(yè)發(fā)展的新趨勢，加強工藝技術(shù)積累和創(chuàng)新，掌握先進的制程技術(shù)和設(shè)備制造技術(shù)，為客戶提供高品質(zhì)、高性能的設(shè)備產(chǎn)品，逐步打造平臺化的系統(tǒng)解決方案能力。
本項目產(chǎn)品是半導(dǎo)體制程工藝的配套附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件，廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體顯示和新能源等領(lǐng)域。隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、機器人以及汽車電子等新技術(shù)和新產(chǎn)品的出現(xiàn)和應(yīng)用，帶動了對集成電路和半導(dǎo)體顯示的龐大市場需求。晶圓和半導(dǎo)體顯示等領(lǐng)域的制造廠商擴產(chǎn)活躍，投資建設(shè)熱情高漲，行業(yè)處于長周期的上行階段，對設(shè)備的采購需求持續(xù)旺盛。
半導(dǎo)體行業(yè)下游需求持續(xù)旺盛，有利于推動上游設(shè)備和零部件產(chǎn)業(yè)鏈的迅速發(fā)展。根據(jù)華安證券測算，2023 年-2025 年大陸集成電路及半導(dǎo)體顯示廢氣治理市場空間預(yù)計分別為 28.2 億元、36.9 億元及 42.6 億元；根據(jù)東吳證券研究所預(yù)測，2023 年-2025 年中國（含中國臺灣地區(qū)）半導(dǎo)體線 億元；根據(jù) QY Research 數(shù)據(jù)，2022 年中國半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備市場空間 1.64 億美元。
根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，中國大陸晶圓廠建廠速度全球第一，預(yù)計至 2024 年底，將新增 31 座大型晶圓廠。整體來看晶圓廠資本開支高企，建設(shè)步伐積極，仍有大量的建設(shè)規(guī)劃將陸續(xù)落地，為專用的半導(dǎo)體附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件帶來源源不斷的市場需求。半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)是國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。
隨著半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，在被顯示企業(yè)視為“下一代顯示屏技術(shù)”的 MiniLED 和 MicroLED領(lǐng)域，中國企業(yè)的創(chuàng)新與落地也在不斷推進。根據(jù) CINNO Research 統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2023 年中國（含中國臺灣地區(qū)）半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)投資資金額約為 3,068 億元人民幣。在碳中和的推動下，國內(nèi)外光伏裝機量大幅度的提高，下游需求旺盛拉動光伏廠商的資本開支。
根據(jù)國家能源局數(shù)據(jù)顯示：國內(nèi) 2023 年光伏新增裝機 216.88GW，同比增長 148.12%，創(chuàng)歷史新高。根據(jù)東吳證券測算，國內(nèi)光伏拉晶線 億元；而國內(nèi)光伏電池片線 億元。綜上，集成電路、半導(dǎo)體顯示和新能源等高景氣領(lǐng)域，企業(yè)資本開支動作活躍，推動半導(dǎo)體附屬設(shè)備行業(yè)保持增長態(tài)勢，為本項目的實施提供了良好的市場環(huán)境，為新增產(chǎn)能消化提供了條件。
公司深耕半導(dǎo)體工藝廢氣治理領(lǐng)域多年，持續(xù)服務(wù)于中芯國際、華虹半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、格科微、深南電路、ICRD、士蘭微電子、卓勝微、斯達微電子、長電科技、京東方、華星光電、惠科光電、天馬微電子、維信諾、和輝光電、彩虹股份、中電系統(tǒng)、比亞迪等業(yè)內(nèi)領(lǐng)軍企業(yè)，積累了豐富的客戶資源，贏得了廣泛的市場認可和良好的客戶口碑。公司在集成電路、半導(dǎo)體顯示及新能源等行業(yè)積累的豐富客戶資源和良好服務(wù)口碑，有助于真空設(shè)備和溫控設(shè)備等新產(chǎn)品快速得到下游客戶的市場認可，亦為產(chǎn)業(yè)化放量提供良好的客戶基礎(chǔ)，為本項目新增產(chǎn)能的消化提供較為可靠保障。
完整版可行性研究報告依據(jù)國家部門及地方政府相關(guān)法律、法規(guī)、標準，本著客觀、求實、科學(xué)、公正的原則，在現(xiàn)有能夠掌握的資料和數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上，主要就項目建設(shè)背景、需求分析及必要性、可行性、建設(shè)規(guī)模及內(nèi)容、建設(shè)條件及方案、項目投資及資金來源、社會效益、經(jīng)濟效益以及項目建設(shè)的環(huán)境保護等方面逐一進行研究論證，以確定項目經(jīng)濟上的合理性、技術(shù)上的可行性，為項目投資主體和主管部門提供決策參考。
此報告為摘錄公開部分。定制化編制政府立項審批備案、國資委備案、銀行貸款、產(chǎn)業(yè)基金融資、內(nèi)部董事會投資決策等用途可研報告可咨詢思瀚產(chǎn)業(yè)研究院。返回搜狐，查看更加多